實現0.3秒高速控制
搭載微型流量傳感器,直接與氣體接觸,可以瞬間捕捉到溫度變化。
與阿自倍爾的PID控制技術相結合,實現0.3秒高速響應控制。
更小、更節省空間
採用寬度28mm的薄型設計,使配管間隔縮小,節省空間效果明顯。
控制、測量各種製程氣體流量
集合阿自倍爾獨立開發的超高速響應微流量晶片、比例電磁閥、高級執行機構控制技術,實現高速、高精度控制的流量計
氣體種類 : 空氣、氧氣、氮氣、氬氣、二氧化碳、氫氣、氦氣
流量量程 : 1mL - 20L / min
材質 : SUS316
認證 : CE