數位氣體質量流量控制器

高速反應、低壓力損失、高精度的數位氣體質量流量控制器、多種功能解決流量控制問題。
各種流量領域也能達到0.3秒的高速反應。
「從全開到開始控制時」「變更設定值時」皆能做到高速反應。
變更多個氣體流量設定時，也能維持穩定的氣體流量比例。

從供氣源到管道末端，為您提供最先進的質量流量測量方案。
使用MEMS型流量感測器的熱式氣體質量流量測量，為客戶的品質提升與節能做貢獻。

流量計廣泛應用在各種領域中，可應用在半導體的製程：塗佈設備、蝕刻設備、洗淨設備、乾燥設備的製造過程皆會使用。